Холдинг «Швабе» запатентовал высокоэффективный способ изготовления pin-фотодиодов с охранным кольцом на высокоомном p-кремнии, позволяющим существенно снизить трудозатраты и повысить экономическую эффективность производства.
Pin-фотодиоды представляют собой полупроводниковые приборы, генерирующие электрический ток при их освещении. Они имеют большой срок службы, механическую прочность и компактные размеры. Однако сложность технологического процесса их изготовления может приводить к возникновению различных дефектов во время производства. Способ, разработанный специалистами предприятия Холдинга — ОАО «Швабе — Фотосистемы», позволяет реанимировать такие фотодиоды.
«В ходе изготовления фотодиода мы применяем комбинацию из двух защитных слоев — термической окиси кремния с повышенным встроенным зарядом и плазмохимической окиси кремния с величиной встроенного заряда, недостаточной для образования каналов. Реанимации же осуществляется за счет повторного нанесения защитного слоя окиси кремния. Проведение подобной восстановительной процедуры способствует повышению экономической эффективности, так как это намного дешевле, чем с „нуля“ изготовить новый фотодиод», — рассказал генеральный директор ОАО «Швабе — Фотосистемы» Анатолий Филачев.
Pin-фотодиоды применяются в фотоприемных устройствах, используемых в различных областях деятельности: строительстве, геодезии, геологии, волоконно-оптической связи. Заказчиками данных приборов выступают предприятия-разработчики оптико-электронной аппаратуры с использованием импульсного лазерного излучения.
