Ученые научного центра мирового уровня «Передовые цифровые технологии» Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали импортозамещающий технологический комплекс, на котором можно создавать наноструктуры, необходимые для работы различного микроэлектронного оборудования.
Комплекс состоит из двух частей. Первая — промышленный образец установки безмасочной нанолитографии. Второй элемент комплекса — промышленный образец установки плазмохимического травления кремния. Разработка комплекса поможет решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники, отметили в ведомстве.