Первый российский чип-эталон для микротомографии создан в Томске

Учёные Томского политехнического университета создали микрочип для точной проверки качества работы рентгеновских томографов. Это первая в России разработка, которая позволяет объективно оценить, насколько детально микротомограф способен «разглядеть» внутреннюю структуру исследуемых образцов.

Чип размером с рисовое зерно (около 3×3 мм) изготовлен из кристаллического кремния. На его поверхности с помощью травления нанесены микроскопические узоры в виде полос и точек размером от 10 до 1 микрона, которые выступают в качестве эталонной шкалы.

Принцип работы прост: чип сканируется томографом, как обычный образец. Сравнивая полученное изображение с заранее известными точными размерами структур на чипе, можно определить реальное разрешение аппарата — вплоть до 1 микрона. Раньше в России не существовало официально признанного эталона для подобных измерений, что затрудняло сертификацию микротомографов в качестве средств измерения. Новая разработка решает эту проблему, отметили в ТПУ.

По словам учёных, чип универсален и не требует модернизации оборудования. Его можно использовать не только для калибровки томографов, но и для тестирования новых алгоритмов обработки снимков и протоколов сканирования. В мире аналоги производятся только в Германии и Японии.