В России создана установка электронно-лучевой литографии для изготовления фотошаблонов и формирования рисунка на подложках без использования маски. Оборудование с проектными нормами 150 нм разработал Зеленоградский нанотехнологический центр, сейчас опытные образцы проходят испытания.