Новосибирские физики завершили уникальную работу по созданию вещественных наноэталонов
У сделанного ранее и сертифицированного в Германии эталона длина была 20 нанометров. В институте физики полупроводников пошли дальше и из кремния сделали комплект эталонов, где самый маленький 0,3 нанометра. Росстандарт утвердил его как средство измерения.
Эталон метра был изготовлен в Париже в 1799 году. Многие, наверняка, помнят картинку из школьного учебника физики: платиновый метр под стеклянным колпаком. Прошло более 200 лет и пришло время наноэталона.
Наноэталон не в Париже и не под стеклом. Он в новосибирском институте физики полупроводников. Вот в этом специальном чемодане, в пластмассовой коробочке. Как когда-то было с эталоном метра, его копии начали передавать туда, где они нужны.
Человеческий глаз, телевизионная камера видят здесь крохотную полоску. Только с помощью мощных микроскопов можно увидеть собственно наноэталоны. Их в комплекте шесть штук. Работа по их созданию шла несколько лет. И вот Росстандарт утвердил их как средство измерения.
«Эти образцы позволяют калибровку и поверку микроскопов (атомно-силовых, интерференционных) в диапазоне размеров от 0,3 нанометра, то есть меньше нанометра, до 30 нанометров, — рассказывает Дмитрий Щеглов, научный сотрудник лаборатории нанодиагностики и нанолитографии института физики полупроводников СО РАН. — То есть мы захватили весь диапазон, который в нанотехнологиях используется».
