В Омском НИИ приборостроения (входит в холдинг «Росэлектроника»)
разработана перспективная технология изготовления тонкопленочных
СВЧ-резонаторов, использующихся в российской радиоэлектронной
аппаратуре.
Специалисты ОНИИП провели работу по исследованию влияния
конструктивных и технологических решений на параметры
тонкопленочных СВЧ-резонаторов для реализации устройств частотной
селекции и стабилизации частоты.
В ходе исследования был разработан способ напыления пленок
алюминия с малой шероховатостью поверхности, позволяющий
изготавливать СВЧ-резонаторы с улучшенными параметрами.
Также специалисты ОНИИП разработали технологию изготовления
тонкопленочных СВЧ-резонаторов с Брэгговским отражателем,
позволяющую создавать резонансные структуры в едином
технологическом цикле на частоту от 2 до 5 ГГц, а в перспективе
до 20 ГГц. Эта технология позволяет освоить выпуск принципиально
новой для российского рынка продукции в области микроэлектроники
и в несколько раз снизить вес и размеры устройств, например
полученные образцы на частоту 5 ГГц имеют размеры 1,5×1,5×0,6 мм.
По данной технологии были изготовлены опытные образцы
СВЧ-резонаторов на основе пленок оксида цинка и нитрида алюминия
с добротностью 300-350 единиц и 500-650 единиц соответственно.
Полученные образцы показали, что разработанные по этой технологии
СВЧ-резонаторы, по электрическим и технологическим
характеристикам превосходят российские и зарубежные аналоги по ряду параметров.
