Новосибирская компания «Оптические системы» создала лазер для литографов на 257 нанометров

Российская компания «Оптические системы» (Новосибирск) сообщила о создании отечественной «лазерной системы для печати шаблонов с помощью ультрафиолетового излучения при изготовлении микросхем.

Предсерийный прототип пройдет испытания на белорусском предприятии электронной промышленности «Планар», которое, как известно, сегодня участвует в разработке полностью российского литографа.

Как говорят авторы проекта, разработка заменит американские лазеры Coherent на 257 нанометров, которые используются сегодня. В составе созданного в Новосибирске программно-аппаратного комплекса — лазер мощностью 10-30 милливатт и волоконный усилитель, поднимающий мощность лазера до 15 ватт. Одной из важных особенностей новой системы является ее пониженное энергопотребление. Точные технические детали проекта не приводятся.